Благодаря тщательной компенсации разности хода волн

В этом случае разность хода волн
равна

где h — толщина клина между плоскостями М’ и П в месте отражения волн; Dl‘ зависит от настройки интерферометра (Dll). Интерференционные полосы «равной (постоянной) толщины» ориентированы параллельно линии L пересечения плоскостей М’ и П (см. рис.1,а). Ширина интерференционных полос зависит от угла q и равна (см. гл. 2, формулу (2.20))

(1)

Количество полос, наблюдаемых по обе стороны от линии L, определяется средней длиной волны l и спектральным интервалом Dl света, падающего на зеркало М0:

Схема прибора показана на рис.1,б. Исследуемая подложка с нанесенными на нее пленками играет роль зеркала П. В качестве источника света S используется лампочка накаливания. Диафрагма Д и линза О1 формируют параллельный пучок света (диафрагма находится в фокальной плоскости линзы). Светофильтр СФ используется для монохроматизации излучения источника S (уменьшения Dl).

Благодаря тщательной компенсации разности хода волн в плечах интерферометра, прибор позволяет наблюдать интерференционную картину и в белом свете (без светофильтра). С помощью одинаковых объективов О2, О’2, линзы О3 и зеркала З изображение интерференционных полос вместе с изображением исследуемой поверхности переносится в плоскость сеток С и наблюдаются через окуляр О. Сетки С — стеклянные пластинки, на одной из них нанесена окулярная шкала с делениями от
0 до 8, а на другой — перекрестие из двух «нитей» и двойной штрих, которые могут перемещаться относительно шкалы при вращении барабана Б микрометрического винта. Поворот барабана на одно деление перемещает перекрестие с двойным штрихом на 0,01 деления окулярной шкалы. Окуляр О с сетками и микрометрический винт образуют окулярный микрометр (МОВ). Интерференционные полосы, показанные на рис.1,
a, видны на фоне шкалы окулярного микрометра, поле зрения
которого изображено на рис.1,
б справа. Измерение расстояний в делениях шкалы окулярного микрометра проводится путем снятия двух
отсчетов
N1 и N2 и вычисления их разности |N2N1|. Пример отсчета приведен на рис.1,б.

Пучки света после деления на зеркале М0 фокусируются объективами О2 и О’2 соответственно на поверхность П и зеркало М, что обеспечивает

You can leave a response, or trackback from your own site.

Leave a Reply